簡(jiǎn)要描述：SC100-PE型勻膠機是一種超高轉速精度，并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器的高精密高檔勻膠設備。
產(chǎn)品型號：SC100-PE廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2017-11-22訪(fǎng) 問(wèn) 量：1482產(chǎn)品介紹：
名 稱(chēng)：型勻膠機
型 號：SC100-PE
原產(chǎn)地：美國，USA
應 用：SC100-PE型勻膠機是一種超高轉速精度，并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器的高精密高檔勻膠設備。
產(chǎn)品概述：
SC100-PE型精密勻膠機是一種超高轉速、高精度的旋轉勻膠設備，并帶有真空數顯傳感器和水平數顯傳感器，它可以實(shí)現價(jià)值百萬(wàn)美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。
不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀(guān)；工業(yè)級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應用意義；同類(lèi)產(chǎn)品中的zui大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和*的可重復性。
SC100-PE性能參數：
l 主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
l 旋涂程序：可擴展編輯和存貯到無(wú)限程序步驟
l 轉動(dòng)速度：0-15,000rpm
l 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
l 轉速精度達到±0.1rpm，超高轉速穩定性；
l 工藝時(shí)間設定： 0-3,000 sec/step
l 時(shí)間設置精度：0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）
l 旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）
SC100-PE產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 的內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。
l 7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作。
l on ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。
l 采用工業(yè)級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機內部。
l 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。
l 透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
l 數顯真空壓力傳感器，真空值數字顯示，壓力開(kāi)關(guān)值可設置；
l 數顯水平度傳感器，實(shí)時(shí)顯示載物盤(pán)面的水平度，可通過(guò)底腳進(jìn)行調節；
l 自帶四個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠端口，更多端口控制可升級。
產(chǎn)品外型尺寸：
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構
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